ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ–ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ ಸ್ಫಟಿಕ ಲೇಪನ ವಿಧಾನ
ಉತ್ಪನ್ನ ವಿವರಣೆ
ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ ಸ್ಫಟಿಕ ಲೇಪನ ವಿಧಾನವು ಈ ಕೆಳಗಿನವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ: ದೊಡ್ಡ ಸ್ಫಟಿಕವನ್ನು ಸಮಾನ-ವಿಸ್ತೀರ್ಣದ ಮಧ್ಯಮ ಸ್ಫಟಿಕಗಳಾಗಿ ವಿಭಜಿಸುವುದು, ನಂತರ ಹಲವಾರು ಮಧ್ಯಮ ಸ್ಫಟಿಕಗಳನ್ನು ಜೋಡಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಎರಡು ಪಕ್ಕದ ಮಧ್ಯಮ ಸ್ಫಟಿಕಗಳನ್ನು ಅಂಟುಗಳಿಂದ ಬಂಧಿಸುವುದು; ಸಮಾನ-ವಿಸ್ತೀರ್ಣದ ಸ್ಟ್ಯಾಕ್ ಮಾಡಿದ ಸಣ್ಣ ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ಬಹು ಗುಂಪುಗಳಾಗಿ ಮತ್ತೆ ವಿಂಗಡಿಸುವುದು; ಸಣ್ಣ ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ಸ್ಟ್ಯಾಕ್ ಅನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಂಡು, ವೃತ್ತಾಕಾರದ ಅಡ್ಡ ವಿಭಾಗದೊಂದಿಗೆ ಸಣ್ಣ ಸ್ಫಟಿಕಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಬಹು ಸಣ್ಣ ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ಬಾಹ್ಯ ಬದಿಗಳನ್ನು ಹೊಳಪು ಮಾಡುವುದು; ಬೇರ್ಪಡಿಸುವಿಕೆ; ಸಣ್ಣ ಸ್ಫಟಿಕಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಂಡು, ಸಣ್ಣ ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ಸುತ್ತಳತೆಯ ಪಕ್ಕದ ಗೋಡೆಗಳ ಮೇಲೆ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಅಂಟು ಅನ್ವಯಿಸುವುದು; ಸಣ್ಣ ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ಮುಂಭಾಗ ಮತ್ತು/ಅಥವಾ ಹಿಮ್ಮುಖ ಬದಿಗಳನ್ನು ಲೇಪಿಸುವುದು; ಅಂತಿಮ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಸಣ್ಣ ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ಸುತ್ತಳತೆಯ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಅಂಟು ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು.
ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ ಸ್ಫಟಿಕ ಲೇಪನ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ವಿಧಾನವು ವೇಫರ್ನ ಸುತ್ತಳತೆಯ ಪಕ್ಕದ ಗೋಡೆಯನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಸಣ್ಣ ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ, ಅಂಟು ಅನ್ವಯಿಸುವಾಗ ಮೇಲಿನ ಮತ್ತು ಕೆಳಗಿನ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸುವುದು ಸುಲಭ, ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯು ಸುಲಭವಲ್ಲ. ಸ್ಫಟಿಕದ ಮುಂಭಾಗ ಮತ್ತು ಹಿಂಭಾಗವನ್ನು ಲೇಪಿಸಿದಾಗ ಅಂತ್ಯದ ನಂತರ, ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಅಂಟು ತೊಳೆಯಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಹಂತಗಳು ತೊಡಕಾಗಿರುತ್ತವೆ.
ವಿಧಾನಗಳು
ಸ್ಫಟಿಕದ ಲೇಪನ ವಿಧಾನವು ಈ ಕೆಳಗಿನವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ:
● ● ದಶಾಮೊದಲೇ ಹೊಂದಿಸಲಾದ ಕತ್ತರಿಸುವ ಬಾಹ್ಯರೇಖೆಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ, ಲೇಸರ್ ಬಳಸಿ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಭಾಗದಿಂದ ಘಟನೆ ಮಾಡಿ ಮೊದಲ ಮಧ್ಯಂತರ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಪಡೆಯಲು ತಲಾಧಾರದೊಳಗೆ ಮಾರ್ಪಡಿಸಿದ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಿ;
● ● ದಶಾಎರಡನೇ ಮಧ್ಯಂತರ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಮೊದಲ ಮಧ್ಯಂತರ ಉತ್ಪನ್ನದ ಮೇಲಿನ ಮೇಲ್ಮೈ ಮತ್ತು/ಅಥವಾ ಕೆಳಗಿನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಲೇಪಿಸುವುದು;
● ● ದಶಾಮೊದಲೇ ಹೊಂದಿಸಲಾದ ಕತ್ತರಿಸುವ ಬಾಹ್ಯರೇಖೆಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ, ಎರಡನೇ ಮಧ್ಯಂತರ ಉತ್ಪನ್ನದ ಮೇಲ್ಭಾಗವನ್ನು ಲೇಸರ್ನಿಂದ ಬರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕತ್ತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉಳಿದ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಗುರಿ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಬೇರ್ಪಡಿಸಲು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ವಿಭಜಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.